特許

J-GLOBAL ID：200903092226081809

メンブレンマスク

発明者： 河田 真太郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-196404
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026368
出願日： 1997年07月08日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】 メンブレンへの歪みが少なく且つ扱いやすいメンブレンマスクを提供する。【解決手段】 Si基板2の裏面をエッチングすることにより該Si基板2の周辺部に形成されたサポートフレーム部4と、該Si基板2の表面に形成されたマスクメンブレン1と、を具備することを特徴とする。したがって、メンブレンへの歪みが少なく且つ扱いやすくすることができる。

請求項（抜粋）：

Si基板の裏面をエッチングすることにより該Si基板の周辺部に形成されたサポートフレーム部と、該Si基板の表面に形成されたマスクメンブレンと、を具備することを特徴とするメンブレンマスク。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/16 ,  H01L 21/306

FI (4件)：

H01L 21/30 531 M ,  G03F 1/16 A ,  G03F 1/16 B ,  H01L 21/306 B