特許

J-GLOBAL ID：200903092228313251

ダイヤフラムポンプおよびカラーフィルターの製造方法

発明者： 箕浦 潔 ,  北村 義之
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-083664
公開番号（公開出願番号）：特開平10-281071
出願日： 1997年04月02日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：

【要約】【課題】作動流体のエアー排除を容易にしてポンプの吐出精度を維持し、第二に、ガラス等の脆性材料からなるシリンジを実用に供せるようにして吐出性能向上、耐久性向上を可能にし、第三に、金属シリンジ使用時の耐久性を向上させてエアー混入を起こりにくくし、第四に、送液流体側チャンバー内の状態を観察可能にして不具合を未然に防止して、高い品質の製品を高い生産性で製造することのできるダイヤフラムポンプとこのポンプを用いたカラーフィルターの製造方法を提供する。【解決手段】可撓性膜を介して送液流体側チャンバーと作動流体側チャンバーに分離され、シリンジとピストンからなるポンプユニットから付加される作動流体の圧力で可撓性膜を変形させて、送液流体を流入、流出するダイヤフラムポンプにおいて、作動流体に混入する気泡を大気に排出する排気口を作動流体側チャンバーの作動流体流入口より上方に設けたことを特徴とするダイヤフラムポンプ。

請求項（抜粋）：

可撓性膜を介して送液流体側チャンバーと作動流体側チャンバーに分離され、シリンジとピストンからなるポンプユニットから付加される作動流体の圧力で可撓性膜を変形させて、送液流体を流入、流出するダイヤフラムポンプにおいて、作動流体に混入する気泡を大気に排出する排気口を作動流体側チャンバーの作動流体流入口より上方に設けたことを特徴とするダイヤフラムポンプ。