特許

J-GLOBAL ID：200903092230855720

圧電/電歪膜型アクチュエータ及びこれを用いたインクジェットプリンタヘッド

発明者： 立山 泰治
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-240413
公開番号（公開出願番号）：特開2001-063048
出願日： 1999年08月26日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：

【要約】【課題】低電圧駆動で大きな屈曲変位が得られるとともに、応答性に優れ、かつ振動板1の屈曲変位に悪影響を及ぼすことなく一方の電極としての機能を兼ね備え、かつ屈曲変位の繰り返しにおいても振動板1が破損し難い圧電/電歪膜型アクチュエータを提供する。【解決手段】4点曲げ強度が100MPa以上、破壊靭性値が3MPa1/2 以上で、かつ導電性を有するルチル型、コランダム型、スピネル型のいずれか一種の結晶構造を有するセラミック製振動板1上の表面粗度を中心線平均粗さ(Ra)で0.1〜1.0μmとし、この表面上に、白金又はパラジウムを40重量%以上含む中間層2、圧電/電歪膜3、及び電極膜4を順次積層一体化して駆動部5を形成して圧電/電歪膜型アクチュエータを構成する。

請求項（抜粋）：

4点曲げ強度が100MPa以上、破壊靭性値が3MPam1/2以上で、かつ導電性を有するルチル型、コランダム型、スピネル型のいずれか一種の結晶構造を有するセラミック製振動板上の表面粗度を中心線平均粗さ(Ra)で0.1〜1.0μmとし、該振動板の表面上に、白金又はパラジウムを40重量%以上含有する中間層、圧電/電歪膜及び電極膜を順次積層一体化して駆動部を形成したことを特徴とする圧電/電歪膜型アクチュエータ。

IPC (4件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09

FI (4件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/08 U

Fターム (17件)：

2C057AF03 ,  2C057AF55 ,  2C057AF93 ,  2C057AG39 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AG52 ,  2C057AG55 ,  2C057AG93 ,  2C057AG94 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP22 ,  2C057AP24 ,  2C057AP57 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14