特許
J-GLOBAL ID：200903092233365260
浸炭処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
香本 薫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-084136
公開番号（公開出願番号）：特開平7-268601
出願日： 1994年03月29日
公開日（公表日）： 1995年10月17日
要約：
【要約】【目的】 歯車等のワークのプラズマ浸炭処理において、エッジ部と平坦部の浸炭層の炭素濃度を均一とすること、また、エッジ部において粒界に沿った網状の炭化物の生成を抑制すること。【構成】 真空炉内にワークを収容し該真空炉内に浸炭性ガスを供給してグロー放電するプラズマ浸炭処理を施し、引き続きCO2等の脱炭性ガスを供給してプラズマ脱炭処理を施す。好ましくは浸炭処理と脱炭処理を繰り返し行うようにする。
請求項（抜粋）：
エッジ部を備えるワークの表面部に浸炭層を形成する際、真空炉内にワークを収容し該真空炉内に浸炭性ガスを供給してグロー放電するプラズマ浸炭処理を施したのち引き続き脱炭処理を施すことを特徴とする浸炭処理方法。
引用特許：
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