特許
J-GLOBAL ID：200903092234247414
ウエーハブレーキング・分離方法及びその実施装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-179975
公開番号（公開出願番号）：特開平6-029388
出願日： 1992年07月07日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハブレーキング・分離方法において、ウエーハ1からチップ4に分離する際に生ずるチップ4のワレ、カケ、クラック等の損傷を防止する。【構成】 予めブレーク用溝1Aが設けられたウエーハ1をテープ2に貼り付け、ローラ3でウエーハ1をブレークするウエーハブレーキング・分離方法において、前記ローラ3の回転する進行方向と逆向きに、前記ウエーハ1を貼り付けたテープ2に張力を加えてウエーハ1をブレークしてチップ4に分離する。また、その実施装置において、前記ローラ3の回転する進行方向と逆向きに、前記ウエーハ1を貼り付けたテープ2に張力を加えるテープ引張手段と、このテープ引張手段のテープの引張り方向がウェーハを配置した試料台の平面に対し、上方向に引張る手段と、該上方向に引張る手段の引張り角度を設定する引張り角度設定手段が設けられている。
請求項（抜粋）：
予めブレーク用溝が設けられたウエーハをテープに貼り付け、ブレーク用ローラでウエーハをブレークしてチップに分離するウエーハブレーキング・分離方法において、前記ブレーク用ローラの回転する進行方向と逆向きに、前記ウエーハを貼り付けたテープに張力を加えてウエーハをブレークして分離することを特徴とするウエーハブレーキング・分離方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
