特許

J-GLOBAL ID：200903092238827512

液晶表示体基板の検査装置

発明者： 飯田 到 ,  佐野 聡
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  テル・エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-255674
公開番号（公開出願番号）：特開平9-080410
出願日： 1995年09月07日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【目的】 液晶表示体基板をその検査結果に応じて複数に分類してカセットに収納できるLCD基板Sの検査装置を提供する。【構成】 本検査装置1は、複数のLCD基板Sが収納されたカセットCを載置するカセット載置部4と、このカセット載置部4のカセットCとLCD基板Sの電気的検査を行うプローバ部3との間でLCD基板Sを搬送する基板搬送機構5と、この基板搬送機構5を駆動制御するローダコントローラ8とを備え、上記ローダコントローラ8は、プローバ部3での検査結果に基づいて検査後のLCD基板Sの品質を判別する判別手段と、この判別手段の判別結果に基づいて基板搬送機構5による検査後のLCD基板Sの搬送場所を指定する搬送場所指定手段とを備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

複数の液晶表示体基板が収納されたカセットを載置するカセット載置部と、このカセット載置部のカセットと液晶表示体基板の電気的検査を行う検査部との間で液晶表示体基板を搬送する基板搬送機構と、この基板搬送機構を駆動制御する制御機構とを備えた検査装置において、上記制御機構は、上記検査部での検査結果に基づいて検査後の液晶表示体基板の品質を判別する判別手段と、この判別手段の判別結果に基づいて上記基板搬送機構による検査後の液晶表示体基板の搬送場所を指定する搬送場所指定手段とを備えたことを特徴とする液晶表示体基板の検査装置。

IPC (4件)：

G02F 1/1333 500 ,  G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G02F 1/1333 500 ,  G01R 31/00 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68 A