特許

J-GLOBAL ID：200903092239293961

光学式表面粗さ計測装置

発明者： 武居 利治 ,  竹村 安弘 ,  武田 重人
出願人/特許権者： 住友大阪セメント株式会社
代理人 (1件)： 土橋 皓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-032423
公開番号（公開出願番号）：特開平10-227626
出願日： 1997年02月17日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】 基板等の被測定物の表面粗さを計測するために利用される光学式表面粗さ計測装置に関し、非常に簡単な方式で表面の粗さを定性的に評価または定量化できるとともにインライン検査にも適合し、高速に計測を行うことができ、しかも搬送装置のガタによる影響を軽減することを課題とする。【解決手段】 被測定物にコヒーレント光束を照射し、その反射光を測定することにより、表面の粗さを計測する装置において、コヒーレント光束を出射する光源と、該光源からの光束を前記被測定物に照射するレンズと、前記被測定物からの散乱反射光の一部を正反射光以外の空間領域における正反射光から互いに異なる角度位置で受光する2個以上の受光素子と、その2個以上の受光素子の出力の比を取るかまたは2個以上の受光素子の出力の自乗平均平方根表面粗さを算出する演算処理手段とを備えるように構成する。

請求項（抜粋）：

被測定物にコヒーレント光束を照射し、前記被測定物からの反射光を測定することにより、表面の粗さを計測する装置において、コヒーレント光束を出射する光源と、該光源からのコヒーレント光束を前記被測定物に照射するレンズと、前記被測定物からの散乱反射光の一部を正反射光以外の空間領域における正反射光から互いに異なる角度位置で受光する2個以上の受光素子と、該2個以上の受光素子により受光された散乱反射光の光量に基づき自乗平均平方根表面粗さを算出する演算処理手段とを備えたことを特徴とする光学式表面粗さ計測装置。