特許
J-GLOBAL ID：200903092241825768
透明導電性基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-296059
公開番号（公開出願番号）：特開平7-131044
出願日： 1993年11月01日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【構成】透明絶縁性基板1上に第1の透明導電性薄膜2を形成し、さらにその上に相異なる第2の透明導電性薄膜3を形成した透明導電性基板において、第2の透明導電性薄膜3が結晶性薄膜からなることを特徴とする透明導電性基板。【効果】高基板温度、高パワー密度といった還元性の高いプラズマ条件下においても耐プラズマ性に優れた太陽電池用透明導電性基板を提供することが可能となる。
請求項（抜粋）：
透明絶縁性基板上に第1の透明導電性薄膜を形成し、さらにその上に相異なる第2の透明導電性薄膜を形成した透明導電性基板において、第2の透明導電性薄膜が結晶性薄膜からなることを特徴とする透明導電性基板。
IPC (2件)：
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