特許

J-GLOBAL ID：200903092244189552

インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置

発明者： 高橋 哲司
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-161063
公開番号（公開出願番号）：特開2000-246898
出願日： 1999年06月08日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：

【要約】【課題】 各圧力発生室間の隔壁の剛性を十分に確保し、クロストークを防止したインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供することを課題とする。【解決手段】 シリコン単結晶基板10に形成されたキャビティ12と、前記シリコン単結晶基板10の一方面側の前記キャビティ12に対向する領域に下電極層60、圧電体層70及び上電極層80で形成される圧電素子300と、前記キャビティ12と相対向する領域に設けられると共に振動板を介して前記圧電素子300が内方に保持される圧力発生室22と、この圧力発生室22に連通するノズル開口とを具備する。

請求項（抜粋）：

シリコン単結晶基板に形成されたキャビティと、前記シリコン単結晶基板の一方面側の前記キャビティに対向する領域に下電極、圧電体層及び上電極で形成される圧電素子と、前記キャビティと相対向する領域に設けられると共に振動板を介して前記圧電素子が内方に保持される圧力発生室と、この圧力発生室に連通するノズル開口とを具備することを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (11件)：

2C057AF40 ,  2C057AF51 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AG93 ,  2C057AG94 ,  2C057AP02 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14