特許
J-GLOBAL ID：200903092244754594
成形体の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-138471
公開番号（公開出願番号）：特開平6-346246
出願日： 1993年06月10日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：
【要約】【目的】金属基材上にダイヤモンド状炭素膜を形成した後、該炭素膜表面をフッ素化処理することにより、切れ味が良好で耐蝕性の優れた成形体を製造する方法。【構成】金属基材7表面に、炭素と水素を含有する原料ガスをプラズマによって励起し接触させることによって、ダイヤモンド状炭素膜を形成し、次いで、ダイヤモンド状炭素膜の表面に、フッ素を含有する原料をプラズマによって励起し接触させることによってフッ素化層を形成する。
請求項（抜粋）：
金属基材表面に、炭素と水素を含有する原料ガスをプラズマによって励起し接触させることによってダイヤモンド状炭素膜を形成し、次いで、ダイヤモンド状炭素膜の表面に、フッ素を含有する原料をプラズマによって励起し接触させることによってフッ素化層を形成することを特徴とする成形体の製造方法。
IPC (3件)：
C23C 16/54
, C23C 16/26
, C23C 28/04
