特許
J-GLOBAL ID：200903092246463660
クラッキングセル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
成田 擴其
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-275027
公開番号（公開出願番号）：特開平9-087088
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：
【要約】【課題】 Kセル部からの原料物質蒸気の漏れを抑え、Kセル部の着脱を容易に行えるようにすること。【解決手段】 Kセル部2のるつぼ10からの蒸気は導入パイプ17によってクラッキング部に供給される。導入パイプはるつぼの上部を被うキャップ18に結合している。るつぼはサポート部材39を介してスプリング41の力によって上に持ち上げられ、るつぼの上部をキャップに押し当て、蒸気がもれるのを抑える。るつぼの鍔部10aと、るつぼの周囲にある熱反射板12の上部側面に断面逆L字状のるつぼ係止用リング42が係合し、Kセル部をクラッキングセル本体に装着するとき、スプリングによって持ち上げられているるつぼと熱反射板との位置関係がずれるのを防ぐ。
請求項（抜粋）：
原料物質蒸発用のるつぼを有するKセル部と、このKセル部からの原料物質蒸気が導入パイプを介して供給されるクラッキング部を有するクラッキングセルにおいて、前記導入パイプを介して前記クラッキング部側に取り付けられ、前記Kセル部のるつぼの上部を被うキャップと、前記るつぼを持ち上げ、るつぼの上部を前記キャップに押し当てるスプリングとを備えてなることを特徴とするクラッキングセル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 23/08 M
, H01L 21/203 M
