特許

J-GLOBAL ID：200903092251464070

基板保持装置

発明者： 小山 雅義 ,  林 祥剛 ,  福田 丁丈 ,  仲谷 安広 ,  安原 和則
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 松田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-279954
公開番号（公開出願番号）：特開2001-105261
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：

【要約】【課題】 薄板状の基板を歪みなく保持する基板保持装置を提供する。【解決手段】 基板5の周辺部を保持する四角枠状の基板載置面8と、前記基板載置面8の上面に沿って設けられた複数の吸着溝6と、前記吸着溝6を外側から内側に向かって順次に真空吸気するための吸気孔7とを備えた基板保持装置。

請求項（抜粋）：

基板を載置する載置面と、前記配置面内に形成された吸着溝と、前記吸着溝内に配置された、前記吸着溝内の吸気を行う吸気孔とを備えた、前記吸着溝に前記基板を真空吸着する基板保持装置であって、前記基板の外周縁部に位置する前記吸着溝から内側に位置する前記吸着溝へ向かって、順次吸気が開始されるまたは強勢されることを特徴とする基板保持装置。

IPC (3件)：

B23Q 3/08 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B23Q 3/08 A ,  B65G 49/07 G ,  H01L 21/68 P

Fターム (8件)：

3C016AA01 ,  3C016DA03 ,  3C016DA11 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA13 ,  5F031PA13