特許
J-GLOBAL ID:200903092258689833
窒化珪素焼結体とその製造方法及び窒化珪素質構造部材
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大川 宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-267191
公開番号(公開出願番号):特開平7-126071
出願日: 1993年10月26日
公開日(公表日): 1995年05月16日
要約:
【要約】【目的】窒化珪素焼結体の強度と靱性の両方を向上させる。【構成】α-Si3 N4 を20体積%以上含みかつ相対密度が98%以上の窒化珪素焼結体を準備し、温度勾配を与えながら窒化珪素焼結体1を1500°C以上で熱処理し、α-β転移によりβ-Si3 N4 柱状晶を一定方向に一次元配向させて析出させ、その後1500°C以上に保持して析出したβ-Si3 N4 柱状晶を粒成長させる。これにより少なくとも一部にβ-Si3 N4 柱状晶が一定方向に一次元配向し、β-Si3 N4 柱状晶の20体積%以上が一定方向に一次元配向した相対密度が98%以上の配向部12をもつ焼結体が製造でき、その配向により強度と靱性が向上する。
請求項(抜粋):
実質的にβ-Si3 N4 柱状晶からなり、少なくとも一部にβ-Si3 N4 柱状晶が一定方向に一次元配向した配向部をもち、該配向部ではβ-Si3 N4 柱状晶の20体積%以上が該一定方向に一次元配向していることを特徴とする窒化珪素焼結体。
IPC (4件):
C04B 35/584
, F01D 5/28
, F01L 3/02
, F02B 39/00
引用特許:
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