特許
J-GLOBAL ID:200903092261320026

脱気装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡田 数彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-198147
公開番号(公開出願番号):特開2003-010603
出願日: 2001年06月29日
公開日(公表日): 2003年01月14日
要約:
【要約】【課題】溶存酸素濃度が1μg/L以下の極低濃度の超純水を経済的に有利に製造することが出来る脱気装置を提供する。【解決手段】1又は2以上の空間部(1)によって上下方向に分割され且つ気液接触部材が充填された複数の充填室、最上部の充填室(21)の上方および最下部の充填室(22)の下方にそれぞれ設けられた上部脱気室(3)及び下部脱気室(4)、上部脱気室(3)に配置された散水口(3a)、下部脱気室(4)に接続された不活性ガス導入管(5)、前記の空間部(1)に配置され且つ水の流下を許容する水封装置(6a)を備えた隔壁(6b)、当該隔壁(6b)によって上下方向に分割された1又は2以上の上部空間(1a)及び下部空間(1b)、全ての上部空間(1a)及び最下部の下部空間(1b)に接続され且つ真空ポンプ(7)と連通する抽気管(8)及び(9)から主として構成される。
請求項(抜粋):
1又は2以上の空間部によって上下方向に分割され且つ気液接触部材が充填された複数の充填室、最上部の充填室の上方および最下部の充填室の下方にそれぞれ設けられた上部脱気室および下部脱気室、上部脱気室に配置された散水口、下部脱気室に接続された不活性ガス導入管、前記の空間部に配置され且つ水の流下を許容する水封装置を備えた隔壁、当該隔壁によって上下方向に分割された1又は2以上の上部空間および下部空間、全ての上部空間および最下部の下部空間に接続され且つ真空ポンプと連通する抽気管から主として構成されることを特徴とする脱気塔。
IPC (3件):
B01D 19/00 ,  B01D 19/00 101 ,  C02F 1/20
FI (5件):
B01D 19/00 F ,  B01D 19/00 D ,  B01D 19/00 Z ,  B01D 19/00 101 ,  C02F 1/20 A
Fターム (13件):
4D011AA12 ,  4D011AA15 ,  4D011AA16 ,  4D011AB03 ,  4D011AC04 ,  4D011AC06 ,  4D011AD01 ,  4D011AD02 ,  4D037AA03 ,  4D037AB11 ,  4D037BA23 ,  4D037BB05 ,  4D037BB07

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