特許
J-GLOBAL ID：200903092270612676
原料供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-340955
公開番号（公開出願番号）：特開平5-171420
出願日： 1991年12月24日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：
【要約】【目的】 チャンバ6内の原料金属ペレット7をフィードパイプ5、水平移送管14を通して蒸気室20下方のるつぼ3内へ供給する装置において、チャンバ6内に原料金属ペレット7を補充する際、蒸気室20の真空度を落とさないようにする。【構成】 フィードパイプ5に仕切弁23を設けると共に、チャンバ6に仕切弁25を介して真空パイプ31を接続し、仕切弁23,25を閉じ、チャンバ6のみを区画して、大気圧化,原料金属ペレット7の補充,真空圧化を行う。
請求項（抜粋）：
るつぼが設置される蒸発室を囲むケーシングを貫通してフィードパイプを設け、このフィードパイプのケーシング外の端部に、原料を格納するチャンバを接続し、フィードパイプのケーシング内の端部側を前記るつぼの上方に開口する移送管につなげ、さらに前記ケーシングに真空ポンプを接続してなる原料供給装置において、前記フィードパイプに当該フィードパイプ内を開閉する仕切弁を設ける一方、前記チャンバに真空ポンプを接続すると共に、間に弁を設けたことを特徴とする原料供給装置。
IPC (3件)：
C23C 14/24
, F27B 14/04
, F27B 14/16
