特許

J-GLOBAL ID：200903092277700546

アクチュエータ及びそれを用いたインクジェットプリントヘッド

発明者： 武内 幸久 ,  増森 秀夫 ,  高橋 伸夫
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 中島 三千雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-289257
公開番号（公開出願番号）：特開平6-218929
出願日： 1993年11月18日
公開日（公表日）： 1994年08月09日
要約：

【要約】【目的】 加圧室全体が一体のセラミックスで形成されたアクチュエータにおいて、その加圧室の剛性を低くし、作動特性の低下を防止する。また、かかるアクチュエータをインクポンプとして用いることにより、インクジェットプリントヘッドにおけるインクノズル部材とインクポンプとの接着信頼性を高め、優れたインク吐出特性を得る。【構成】 閉塞プレート76と接続プレート78との間にスペーサプレート82を挟んだ形態の積層物を一体焼成して、内部に加圧室56を形成してなるセラミックス基体84と、閉塞プレート76の外面上に膜形成法にて形成された圧電/電歪素子90とからなるアクチュエ-タ54において、接続プレート78の加圧室56に対応する部位にスリット80を形成する。また、このアクチュエータ54を、インクポンプとして用いて、インクノズル部材52に重ね合わせて接合する。

請求項（抜粋）：

(a)少なくとも一つの窓部が設けられたスペーサプレートと、該スペーサプレートの一方の側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋する閉塞プレートと、該スペーサプレートの他方の側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋する接続プレートとを、それぞれグリーンシートにて積層形成し、一体焼成せしめて、前記窓部にて加圧室を形成してなるセラミックス基体と、(b)前記閉塞プレートの外面上に膜形成法によって形成された電極および圧電/電歪層からなる圧電/電歪素子とからなり、該圧電/電歪素子によって前記加圧室の壁部の一部を変形させることにより、前記加圧室に圧力を生ぜしめるようにしたアクチュエータにおいて、前記接続プレートの前記加圧室に対応する部位に、所定長さで延びるスリットを形成せしめたことを特徴とするアクチュエータ。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H