特許

J-GLOBAL ID：200903092286479798

縦型熱処理装置

発明者： 宮下 正弘
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-035418
公開番号（公開出願番号）：特開平11-219912
出願日： 1998年02月02日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】 ウエハサイズが大きくなって装置が大型化している実情に鑑み、装置の占有面積を小さくすることのできる縦型熱処理装置を提供する。【解決手段】 ボートエレベータ41に載置されたウエハボート42の中心軸Aを通る幅方向のY軸上でその中心軸Aに対して左右対称となる位置に旋回アーム51,52の旋回中心軸56,57を配置するとともに、前記中心軸Aよりも装置手前側で、かつ前記中心軸Aを通りY軸に直交するX軸に対して左右対称となる位置にボートステージ54の第1の載置位置及び第2の載置位置を位置させるようにした。直径12インチ(300mm)のウエハ用の装置においては、その幅は本発明によれば1200mmであり、従来構成の熱処理装置(幅1350mm)に比べて150mmも小さくなる。

請求項（抜粋）：

複数の基板を基板保持具に棚状に保持させ、この基板保持具を昇降台に載せて縦型の熱処理炉内に搬入する装置において、前記昇降台に載せられた基板保持具の中心軸を通り、互いに直交する水平な軸線をX軸、Y軸とすると、前記中心軸よりも前方に位置し、X軸に対して左右に対称に設定された、基板保持具を載置するための第1の載置位置及び第2の載置位置と、2個の基板保持具と、前記第1の載置位置及び前記昇降台の間で基板保持具を移載する第1の旋回ア-ムと、前記第2の載置位置及び前記昇降台の間で基板保持具を移載する第2の旋回ア-ムと、前記第1の載置位置に載置された基板保持具及び前記第2の載置位置に載置された基板保持具に対して基板の受け渡しを行う基板移載機構と、を備え、前記第1の旋回ア-ム及び第2の旋回ア-ムは、前記Y軸上またはY軸の近傍に旋回中心軸が位置し、かつ前記中心軸に対して左右対称に設けられたことを特徴とする縦型熱処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/22 511 J ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 E ,  H01L 21/68 A