特許

J-GLOBAL ID：200903092286619492

表面欠陥検出方法

発明者： 内藤 修治
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 田北 嵩晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-184089
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010902
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、導電体の表面欠陥を検出するに際し、従来の方式を抜本的に性能向上させ、自動化対象も拡大可能な測定法を提供することを目的とする。【構成】 誘導加熱前後に半導体アレイ型赤外線検出器を配置し、加熱前に測定した放射強度信号を記憶遅延し、加熱後の測定対象の同一位置の測定値を除算した後、高周波体域フィルタを通過させることによって、表面性状の影響を消去し、わずかな加熱入力で高精度に欠陥を検出することができる。

請求項（抜粋）：

誘導加熱温度差検出方式による表面欠陥検出方法において、誘導加熱コイル前後に半導体アレイ型赤外線検出器を配置して、加熱前に測定した放射強度信号を記憶遅延し、加熱後の測定対象の同一位置の測定値を除算した後、高周波帯域フィルタを通過させることを特徴とする表面欠陥検出方法。