特許
J-GLOBAL ID：200903092291097526
ゾルーゲル法による強誘電体膜の形成方法、キャパシタの製造方法、その原料溶液の調製方法及びその原料溶液
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-069114
公開番号（公開出願番号）：特開平7-252664
出願日： 1994年03月14日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：
【要約】【構成】 ゾルーゲル法によってチタン酸ジルコン酸鉛からなる強誘電体膜を形成するに際し、(a) 脂肪酸鉛を得る工程と、(b) チタニウム・アルコキシドを得る工程と、(c) このチタニウム・アルコキシドとアルコール残基が同じであるジルコニウム・アルコキシドを得る工程と、(d) 前記脂肪酸鉛と前記チタニウム・アルコキシドと前記ジルコニウム・アルコキシドとを混合して、鉛チタニウム・ダブルアルコキシドと鉛ジルコニウム・ダブルアルコキシドとを生成させる工程とをそれぞれ行う強誘電体膜の形成方法。【効果】 各ダブルアルコキシドの加水分解及び縮合反応が均一に進行し、このゾルーゲル溶液から成膜されたPZT薄膜は平滑な表面を呈し、残留分極が大きく、漏れ電流も小さい等、電気特性が十分となり、要求される性能を満足することができる。
請求項（抜粋）：
ゾルーゲル法によってチタン酸ジルコン酸鉛からなる強誘電体膜を形成するに際し、(a) 脂肪酸鉛を得る工程と、(b) チタニウム・アルコキシドを得る工程と、(c) このチタニウム・アルコキシドとアルコール残基が同じであるジルコニウム・アルコキシドを得る工程と、(d) 前記脂肪酸鉛と前記チタニウム・アルコキシドと前記ジルコニウム・アルコキシドとを混合して、鉛チタニウム・ダブルアルコキシドと鉛ジルコニウム・ダブルアルコキシドとを生成させる工程とを有する、強誘電体膜の形成方法。
IPC (6件)：
C23C 18/12
, C01G 25/00
, H01L 27/04
, H01L 21/822
, H01L 21/8242
, H01L 27/108
H01L 27/04 C
, H01L 27/10 325 J
