特許

J-GLOBAL ID：200903092293365854

プローブカード

発明者： エッチ ダン ヒギンズ ,  ピート ノーミントン
出願人/特許権者： フレッシュクエストコーポレーション ,  イノテック株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-141576
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331655
出願日： 1993年05月20日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】多ピンで狭ピッチのICのプローブテストにも適し、ピン先の高さ調整が容易な構成のプローブカードを実現する。【構成】メッキ処理により形成された複数の配線パターンを有しこれらの配線パターンのそれぞれの先端部14dが基板15に支持されることなく露出し後端側に第1の接触端子を有するフレキシブル基板50と、それぞれの第1の接触端子に接触する第2の接触端子がそれぞれに設けられた複数の配線パターンを有するカード基板(30+40)と、フレキシブル基板50の先端部14d側の部分を上方から支承するクランパ60と、それぞれの先端部14dをプローブピンとして支持する支持体20と、を備え、クランパ50の貫通めねじ62に挿着されたおねじ63がプローブピンの高さ調整用ねじとしてフレキシブル基板50を押す。

請求項（抜粋）：

直接または間接的にメッキ処理により形成された複数の配線パターンを有しこれらの配線パターンのそれぞれの先端部が基板に支持されることなく露出し途中または後端側に第1の接触端子を有するフレキシブル基板と、それぞれの前記第1の接触端子に接触する第2の接触端子がそれぞれに設けられた複数の配線パターンを有し、それぞれの前記第1の接触端子がそれぞれの前記第2の接触端子と接続されるように前記フレキシブル基板が前記第1の接触端子側の部分で固定されたカード基板と、前記フレキシブル基板のうち前記先端部側の部分を上方から支承するためのクランパと、その後方部分で前記カード基板に固定され、その前方部分に前記クランパが固定され、前記前方部分と前記クランパとで前記フレキシブル基板を直接又は間接的に挟持し、前記フレキシブル基板のそれぞれの前記先端部をプローブピンとして支持する支持体と、を備え、前記クランパのうちで前記先端部に近い部分に貫通めねじが設けられ、前記貫通めねじに螺合しておねじが挿着され、前記おねじが前記先端部の高さ調整用ねじとして前記フレキシブル基板を押すことを特徴とするプローブカード。

IPC (2件)：

G01R 1/073 ,  H01L 21/66