特許

J-GLOBAL ID：200903092296932636

マイクロマシン構造体のための懸架装置並びにマイクロマシン・加速度センサ

発明者： クールト ヴァイプレン ,  ミヒャエル オッフェンベルク ,  ベルンハルト エルスナー
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-223714
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075784
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【課題】 測定信号の温度依存性が減少され、精度が高められているような懸架装置及び加速度センサを提供する。【解決手段】 少なくとも2つの固定部材(7)を介してマイクロマシンを基板(1)に固定している懸架装置において、少なくとも1つのレバー部材(6)が設けられており、レバー部材の一方の側が一方の固定部材(7)に固定されており、レバー部材の他方の側が第1の作用点(16)を形成しており、第1の作用点にマイクロマシン構造体が固定されており、補償ビーム(8)が設けられており、補償ビームが、レバー部材の第2の作用点(15)に作用しており、補償ビームの緊張によってレバー部材が撓み可能である。

請求項（抜粋）：

マイクロマシン構造体のための懸架装置であって、該マイクロマシン構造体が、少なくとも2つの固定部材(7)を介して基板(1)に固定されている形式のものにおいて、少なくとも1つのレバー部材(6)が設けられており、該レバー部材(6)の一方の側が前記両固定部材(7)のうちの一方に固定されており、前記レバー部材(6)の他方の側が第1の作用点(16)を形成しており、該第1の作用点(16)にマイクロマシン構造体が固定されており、補償ビーム(8)が設けられており、該補償ビーム(8)が、第2の作用点(15)で前記レバー部材(6)作用しており、前記補償ビーム(8)の緊張によって前記レバー部材(6)が撓み可能であることを特徴とする、マイクロマシン構造体のための懸架装置。

IPC (2件)：

G01P 15/125 ,  H01L 49/00