ボンベ漏洩ガス除害装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-090343
公開番号（公開出願番号）：特開平8-257358
出願日： 1995年03月23日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：

【要約】【目的】半導体製造などで使用される三ふっ化窒素ガスが充填されたボンベの保管、使用時などに、万一三ふっ化窒素ガスが漏洩しても安全、確実に除害でき、しかも取扱操作の容易な装置を得る。【構成】不活性ガスの供給孔および排気孔を有し、ボンベ全体を気密に収納固定できるシリンダー、三ふっ化窒素ガスの除害筒、排気ブロワーおよびこれらを接続する連絡管などによって構成する。

請求項（抜粋）：

三ふっ化窒素ガスが充填されたボンべから漏洩する三ふっ化窒素ガスを除害するためのボンベ漏洩ガス除害装置において、ボンベ収納用のシリンダーであって不活性ガスの供給孔、排気孔およびボンベの固定機能を有するシリンダーと、ガスの入口および出口を有し、内部に三ふっ化窒素ガスの除害剤が充填された除害筒と、該除害筒のガスの出口と接続された排気ブロワーとを備えてなり、該シリンダーの排気孔が除害筒の入口と接続され、排気ブロワーを起動することによって、シリンダーに漏洩した三ふっ化窒素ガス及び不活性ガスが除害筒に導かれるようにされてなることを特徴とするボンベ漏洩ガス除害装置。

IPC (2件)：

B01D 53/68 , B01D 53/54

FI (2件)：

B01D 53/34 134 C , B01D 53/34 128

引用特許：

審査官引用 (5件)

有害ガスの浄化方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-169109 出願人：日本パイオニクス株式会社
特開平2-146400
有害ガスの浄化装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-020724 出願人：日本パイオニクス株式会社

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