特許

J-GLOBAL ID：200903092307538498

有機薄膜の製造方法及び有機薄膜作製装置

発明者： 栗原 隆 ,  都丸 暁 ,  小澤口 治樹
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 中本 宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-223548
公開番号（公開出願番号）：特開平6-053132
出願日： 1992年07月31日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：

【要約】【目的】 スピンコーティングにより均一かつ平坦な良質薄膜を得るために必要な新しい機能性有機薄膜作製方法、及び有機薄膜作製装置を提供する。【構成】 高沸点溶剤に溶かした有機化合物のスピンコーティングにより薄膜を作製する場合に、基板及び作製中の膜自身を加熱する有機薄膜の製造方法において、加熱源として赤外線を用いる有機薄膜の製造方法。スピンコーティング装置に赤外線加熱装置を連動させた上記有機薄膜の製造に用いられる有機薄膜の製造装置。前記方法においては、スピンコーティング前半は加熱を中断し、後半に加熱を再開することにより溶剤分子を完全に除去することが好ましい。

請求項（抜粋）：

高沸点溶剤に溶かした有機化合物のスピンコーティングにより薄膜を作製する場合に、基板及び作製中の膜自身を加熱する有機薄膜の製造方法において、加熱源として赤外線を用いることを特徴とする有機薄膜の製造方法。

IPC (7件)：

H01L 21/027 ,  B05C 9/14 ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 ,  G03C 1/74 351 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/31

FI (2件)：

H01L 21/30 361 C ,  H01L 21/30 361 G