特許
J-GLOBAL ID：200903092309052070
磁気記録媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-182713
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035685
出願日： 1993年07月23日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【構成】 紫外・可視分光光度法を用いて、磁気記録媒体の磁性層表面に形成された水素化カーボン保護膜の紫外・可視領域の反射スペクトルを測定することにより、該保護膜の膜厚及び水素含有量を同時に測定することを特徴とする水素化カーボン保護膜の分析方法。【効果】 水素化カーボン保護膜の膜質を短時間かつ非破壊で精度良く評価することができ、この評価結果に基づき成膜条件の最適化をはかることにより、膜質を一定範囲内に管理することができる。
請求項（抜粋）：
紫外・可視分光光度法を用いて、磁気記録媒体の磁性層表面に形成された水素化カーボン保護膜の紫外・可視領域の反射スペクトルを測定することにより、該保護膜の膜厚及び水素含有量を同時に測定することを特徴とする水素化カーボン保護膜の分析方法。
IPC (4件)：
G01N 21/27
, G01B 11/06
, G11B 5/72
, G11B 5/84
