特許
J-GLOBAL ID：200903092311706710
固体撮像素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
角田 芳末 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-025955
公開番号（公開出願番号）：特開2003-229558
出願日： 2002年02月01日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：
【要約】【課題】 界面準位の低減や界面準位安定化を可能にすることができ良好な特性を有する固体撮像素子を製造することができる固体撮像素子の製造方法を提供する。【解決手段】 センサ部15を含む撮像領域を覆って表面保護膜13が形成された固体撮像素子を製造する際に、センサ部15を形成した後、撮像領域を覆って表面保護材料層14を形成し、この表面保護材料層14に対して熱処理を行い、その後この表面保護材料層14を所定の厚さに加工して表面保護膜13を形成する。
請求項（抜粋）：
センサ部を含む撮像領域を覆って表面保護膜が形成された固体撮像素子を製造する方法であって、前記センサ部を形成した後、前記撮像領域を覆って表面保護材料層を形成する工程と、前記表面保護材料層に対して熱処理を行う工程と、その後、前記表面保護材料層を所定の厚さに加工して前記表面保護膜を形成する工程とを有することを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
Fターム (14件)：
4M118AA05
, 4M118AB01
, 4M118BA13
, 4M118BA14
, 4M118CA04
, 4M118CA32
, 4M118DA03
, 4M118FA13
, 4M118FA26
, 4M118FA35
, 4M118GB04
, 4M118GB07
, 4M118GB08
, 4M118GB11
