相変化材料を有するナノワイヤを有する電気デバイス

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊東忠彦 , 大貫進介 , 伊東忠重
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-533007
公開番号（公開出願番号）：特表2008-515181
出願日： 2005年08月19日
公開日（公表日）： 2008年05月08日
要約：

本発明の方法は、本発明の電気デバイス(100)の製造方法に関する。当該電気デバイス(100)は、抵抗器を有する主部(102)を有する。その抵抗器は、第1相と第2相との間で変化可能な相変化材料を有する。その抵抗器は、その相変化材料が第1相のときに、第1電気抵抗を有し、その相変化材料が第2相のときに、第1電気抵抗とは異なる第2電気抵抗を有する。その抵抗器は、第1導体(172,120)及び第2導体(108,121)と電気的に接続するナノワイヤ(NW)である。本発明の方法は、第1導体(172,120)を有する主部(102)を供する工程、第1導体(172,120)にナノワイヤ(NW)を供することで、前記ナノワイヤ(NW)と前記第1導体(172,120)とを電気的に接続する工程、及び前記ナノワイヤ(NW)に第2導体(108,121)を供することで、前記ナノワイヤ(NW)と前記第2導体(108,121)とを電気的に接続する工程、を有する。

請求項（抜粋）：

抵抗器を有する主部を有する電気デバイスの製造方法であって: 前記抵抗器は、少なくとも第1相と第2相との間で変化可能な相変化材料を有し、かつ第1導体及び第2導体と電気的に接続するナノワイヤで、前記第1導体を有する前記主部を供する主部提供工程; 前記第1導体に前記ナノワイヤを供することで、前記ナノワイヤと前記第1導体とを電気的に接続する、第1提供工程;及び前記ナノワイヤに前記第2導体を供することで、前記ナノワイヤと前記第2導体とを電気的に接続する、第2提供工程; を有する電気デバイス製造方法。

IPC (2件)：

H01L 27/105 , H01L 45/00

FI (2件)：

H01L27/10 448 , H01L45/00 A

Fターム (9件)：

5F083FZ10 , 5F083GA10 , 5F083JA35 , 5F083JA36 , 5F083JA37 , 5F083JA39 , 5F083JA40 , 5F083JA60 , 5F083PR33

引用特許：

出願人引用 (2件)

米国特許第5933365号明細書
国際公開第2003/083949号パンフレット

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