特許
J-GLOBAL ID：200903092318710128
紫外線照射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-196517
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064565
出願日： 1994年08月22日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 外部に紫外線やオゾンが漏れることがない紫外線照射装置を提供すること。【構成】 紫外線ランプ14は、支持ピン12に支持された基板20の表面に向けて紫外線を照射する。ノズル15は、支持ピン12に支持された基板20の表面に向けて酸素を供給する。チャンバ11は、支持ピン12に支持された基板20を収容可能であるとともに、基板20の出し入れのための開口21を有する。シャッタ18は、チャンバ11の開口21に設けられこの開口21を開閉可能である。排気口17からはチャンバ11内の気体が外部に排出される。この紫外線照射装置10では、ノズル15の供給動作を停止させるとともに紫外線ランプ14を消灯させた状態で、排気口17から排気させつつシャッタ18を開状態にさせるので、基板20の交換時に有害な紫外線やオゾンがチャンバ11外部に漏れ出すことを効果的に防止することができる。
請求項（抜粋）：
基板の表面に紫外線を照射して所定の処理を行う紫外線照射装置において、基板を支持する基板支持手段と、前記基板支持手段に支持された基板の表面に向けて紫外線を照射する紫外線ランプと、前記基板支持手段に支持された基板の表面に向けて酸素を供給する酸素供給手段と、前記基板支持手段に支持された基板を収容可能であるとともに、基板の出し入れのための開口を有する処理室と、前記処理室の開口に設けられ、この開口を開閉可能なシャッタと、前記処理室及び前記シャッタによって形成される閉空間内の気体を外部に排出する排気手段と、前記酸素供給手段の供給動作を停止させるとともに前記紫外線ランプを消灯させた状態で、前記排気手段を排気動作させつつ前記シャッタを開状態にさせる制御手段と、を有することを特徴とする紫外線照射装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, G02F 1/1333 500
, H01L 21/027
