特許

J-GLOBAL ID：200903092319567647

原子間力及び/または電流検知用プローブの形成方法、及びこれにより形成されたプローブを用いた走査型プローブ顕微鏡、情報処理装置

発明者： 島田 康弘
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-203776
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033542
出願日： 1995年07月18日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、形状が一定で、かつ所望の位置にティップを形成することのできる原子間力及び/または電流検知用プローブの形成方法及びこれにより形成されたプローブを用いた走査型プローブ顕微鏡、情報処理装置を提供することを目的とするものである。【構成】 本発明は、上記目的を達成するため、原子間力及び/または電流検知用プローブの形成方法において、単結晶基板を加工してなる弾性体上に、ティップをエピタキシャル成長により形成したことを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

原子間力及び/または電流検知用プローブの形成方法において、単結晶基板を加工してなる弾性体上に、ティップをエピタキシャル成長により形成したことを特徴とする原子間力及び/または電流検知用プローブの形成方法。

IPC (4件)：

G01N 37/00 ,  C30B 29/42 ,  G01B 21/30 ,  G11B 9/00

FI (4件)：

G01N 37/00 C ,  C30B 29/42 ,  G01B 21/30 Z ,  G11B 9/00