特許
J-GLOBAL ID：200903092321250448
基板搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-221145
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064656
出願日： 1994年08月22日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 スペース小さくかつ駆動系の構成および制御構成を簡単にして、基板処理部との間での基板の受け渡しを良好に行えるようにする。【構成】 ひとつの基板保持部材25に、水平方向で位置を異ならせて基板W1,W2を載置する2個の基板支持部24,24を設け、その基板支持部24,24それぞれを択一的に第1の基板加熱ユニット6に対向する位置に変位するように基板保持部材25を回転し、第1の基板加熱ユニット6に対向した基板支持部24を第1の基板加熱ユニット6との基板受け渡し位置にわたって変位させ、両基板W1,W2を同時に載置するときでも上下に重ならないようにする。
請求項（抜粋）：
基板処理部に基板を搬送して受け渡しする基板搬送装置であって、ひとつの基板保持部材に、水平方向で位置を異ならせて前記基板を載置する2個の基板支持部を設け、前記基板支持部それぞれを択一的に前記基板処理部に対向する位置に変位するように前記基板保持部材を回転する回転手段と、前記基板処理部に対向した前記基板支持部を前記基板処理部との基板受け渡し位置にわたって変位する水平移動手段とを設けたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, G02F 1/1333 500
, G11B 7/26
, H01L 21/027
