特許
J-GLOBAL ID：200903092324598836

洗浄装置

発明者：
水沢 康行

水沢 康行 について


出願人/特許権者：
株式会社北村製作所

株式会社北村製作所 について


代理人 (1件)： 牛木 護
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-180454
公開番号（公開出願番号）：特開2002-370071
出願日： 2001年06月14日
公開日（公表日）： 2002年12月24日
要約：
【要約】【課題】 独立した複数の処理工程により被洗浄物を洗浄する洗浄装置において、装置の小型化を図るとともに、処理に要する時間を短縮化する。【解決手段】 ターンテーブル2に被洗浄物Wを収容する5つの処理槽3を取り付ける。処理槽3は同一円周上に位置して等間隔毎に取り付ける。1つの処理槽3を除いて4つの処理槽3を密閉可能な上下一対の蓋体20,20Aを設ける。上部蓋体20をシリンダ21により昇降させて処理槽3を密閉する。こうして密閉した処理槽3内の被洗浄物Wを回転させて第1〜第3の洗浄ユニット25、26、27の各洗浄位置、乾燥ユニット28の乾燥位置へと搬送させる。
請求項（抜粋）：
水平方向に回転するターンテーブルを設け、このターンテーブルの同一円周上に位置して被洗浄物が収納可能な複数の筒型の処理槽を設け、この処理槽の少なくとも1個の処理槽を除く前記各処理槽を介して上下一対の蓋体を対向配置し、その上下の蓋体の少なくとも何れか一方を昇降させて前記処理槽を密閉する昇降手段と、前記蓋体に連通して前記被洗浄物の洗浄・乾燥処理する洗浄・乾燥ユニットとを備えた洗浄装置であって、前記ターンテーブルを間歇的に回転させて被洗浄物を組み込みこんだ処理槽を洗浄・乾燥位置へと順次回転移送するように構成したことを特徴とする洗浄装置。
IPC (4件)：
B08B 3/02 ,  C23G 5/00 ,  H01L 21/304 643 ,  H01L 21/304 651
FI (4件)：
B08B 3/02 A ,  C23G 5/00 ,  H01L 21/304 643 Z ,  H01L 21/304 651 L
Fターム (23件)：
3B201AA46 ,  3B201AB01 ,  3B201BB02 ,  3B201BB22 ,  3B201BB90 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201CC01 ,  3B201CC12 ,  3B201CD33 ,  4K053PA17 ,  4K053SA05 ,  4K053TA17 ,  4K053TA19 ,  4K053XA03 ,  4K053XA04 ,  4K053XA09 ,  4K053XA11 ,  4K053XA24 ,  4K053XA31 ,  4K053XA32 ,  4K053XA38 ,  4K053ZA10
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 洗浄装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-058233   出願人：東京電線工業株式会社
  • 特開平1-242183

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