気化器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木戸一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-168665
公開番号（公開出願番号）：特開2000-355770
出願日： 1999年06月15日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】脈動の発生を防止して安定した状態で溶液原料の気化を行うことができる気化器を提供する。【解決手段】溶液原料は、積層ディスク4の中心部に設けた溶液原料供給筒18の溶液原料流出口19から供給する。溶液原料流出口19は、積層ディスク4の積層厚さ以下の大きさに形成されている。キャリアガスは、積層ディスク4の外周縁に対応した位置に設けた複数個のキャリアガス噴出部16から積層ディスク4の外周に沿うように流出させる。

請求項（抜粋）：

中心部に通孔を有する円盤状薄板を多数枚積層して所定温度に加熱し、該円盤状薄板の前記通孔内に溶液原料を所定圧力で供給し、円盤状薄板の接触面間を通して溶液原料を円盤状薄板の外周に滲出させ、円盤状薄板の外周で溶液原料を気化させ、該気化原料を、円盤状薄板の外周部に供給されるキャリアガスに同伴させて送出する気化器において、溶液原料供給路、キャリアガス供給路、気化原料送出路及び加熱手段を有する気化器内に形成した有底筒状の気化室内に前記積層した円盤状薄板を収納し、前記気化室の開口側に設けられる押付け部材により所定の押圧力で気化室底面に向けて積層した円盤状薄板を押圧状態で保持し、前記気化室底面中央に設けた溶液原料供給路に基部が連通し、先端が閉塞した筒体を気化室底面から前記円盤状薄板の通孔内に突出させ、該筒体の周壁に、積層した円盤状薄板の積層厚さ以下の大きさの溶液原料流出口を設けるとともに、前記キャリアガス供給路に連通するキャリアガス噴出部を、円盤状薄板の外周縁に対応したリング状に複数個配置し、キャリアガスを円盤状薄板の外周に沿う軸線方向に流出させるように形成したことを特徴とする気化器。

Fターム (2件)：

4K030EA01 , 4K030KA00

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