特許
J-GLOBAL ID:200903092330375598

マイクロレンズアレイ、その製造方法、及び光導波路型イメージセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 梅田 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-029942
公開番号(公開出願番号):特開平10-225995
出願日: 1997年02月14日
公開日(公表日): 1998年08月25日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、透明基板に複数のマイクロレンズが一次元又は二次元に配置されたマイクロレンズアレイにおいて、レンズ面を保護し、遮光部の形成が容易なマイクロレンズアレイ及びマイクロレンズアレイの製造方法、さらにはノイズの原因となる迷光を防止できる光導波路型イメージセンサを提供することを目的としている。【解決手段】 透明基板2に一次元又は二次元にマイクロレンズ1が複数配列されて成るマイクロレンズアレイにおいて、マイクロレンズアレイが透明基板2に設けれた凹部3の内部に配置され、透明基板2の凹部3周辺の高さがその内部に配置されたマイクロレンズ1より高くなるように構成する。
請求項(抜粋):
透明基板に一次元又は二次元にマイクロレンズが複数配列されて成るマイクロレンズアレイにおいて、前記マイクロレンズアレイが前記透明基板に設けれた凹部の内部に配置され、前記透明基板の凹部周辺の高さがその内部に配置されたマイクロレンズより高くなるように構成されたことを特徴とするマイクロレンズアレイ。
IPC (9件):
B29D 11/00 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/00 ,  G02B 5/02 ,  G02B 6/12 ,  G02B 6/42 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/335 ,  B29K105:32
FI (8件):
B29D 11/00 ,  G02B 3/00 A ,  G02B 5/00 B ,  G02B 5/02 B ,  G02B 6/42 ,  H04N 5/335 V ,  G02B 6/12 Z ,  H01L 27/14 D

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