特許

J-GLOBAL ID：200903092330964569

露光装置及びリソグラフィシステム、並びにデバイス

発明者： 長橋 良智
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-051096
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252188
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 必要床面積を減少させることができる露光装置及びリソグラフィシステムを提供する。【解決手段】 露光装置を構成する露光装置本体12の両サイドのメンテナンスエリアを含む幅の床面Fの領域内にレーザ装置14を配置した。また、露光装置本体12のメンテナンスエリアとレーザ装置14のメンテナンスエリアとの少なくとも一部同士が共通となるように両者を床面Fに配置した。このため、レーザ装置14の露光装置本体12の両サイドのメンテナンスエリアからの張り出し部分がなくなり、その分必要床面積を減少させることができる。また、レーザ装置14のメンテナンスエリアと露光装置本体12のメンテナンスエリアとを別々にとる場合に比べて必要床面積を減少させることができる。

請求項（抜粋）：

レーザ装置を光源とする露光装置であって、前記露光装置を構成する露光装置本体の両サイドのメンテナンスエリアを含む幅の床面の領域内に前記レーザ装置を配置したことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 527 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 B

Fターム (23件)：

2H097BA06 ,  2H097BA10 ,  2H097CA03 ,  2H097CA13 ,  2H097DA06 ,  2H097DA11 ,  2H097DB11 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F046AA17 ,  5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CB01 ,  5F046CB20 ,  5F046CB23 ,  5F046CD01 ,  5F046CD02 ,  5F046CD04 ,  5F046CD05 ,  5F046CD06 ,  5F046DD04