特許

J-GLOBAL ID：200903092332369080

ガス測定装置

発明者： 植田 敏嗣 ,  杉山 直
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-020894
公開番号（公開出願番号）：特開2003-222591
出願日： 2002年01月30日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：

【要約】【課題】 小型、安価で測定精度の高いアンモニアガス測定装置を提供する。【解決手段】 λ1の波長を出力する第1レーザ光源と、λ2の波長を出力する第2レーザ光源と、これら2つの波長を入力し、少なくとも測定対象ガスに対する吸収波長λ3を生成して出力する非線形結晶と、この非線形結晶から出力した光のうち前記λ3の波長を通過させるフィルタと、このフィルタを通過したレーザ光を入力する被測定ガスが導入されたガスセルと、このガスセルを透過した光を受光する受光素子を備えたガス測定装置であって、前記ガスセル内の圧力を0.3気圧以下に下げた状態で被測定ガス濃度を測定する。

請求項（抜粋）：

λ1の波長を出力する第1レーザ光源と、λ2の波長を出力する第2レーザ光源と、これら2つの波長を入力し、少なくとも測定対象ガスに対する吸収波長λ3を生成して出力する非線形結晶と、この非線形結晶から出力した光のうち前記λ3の波長を通過させるフィルタと、このフィルタを通過したレーザ光を入力する被測定ガスが導入されたガスセルと、このガスセルを透過した光を受光する受光素子を備えたガス測定装置であって、前記ガスセル内の圧力を0.3気圧以下に下げた状態で被測定ガス濃度を測定することを特徴とするガス測定装置。

IPC (4件)：

G01N 21/35 ,  G01J 3/02 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/03

FI (4件)：

G01N 21/35 Z ,  G01J 3/02 C ,  G01N 21/01 D ,  G01N 21/03 B

Fターム (43件)：

2G020AA03 ,  2G020BA02 ,  2G020BA12 ,  2G020CB23 ,  2G020CB42 ,  2G020CB55 ,  2G020CC32 ,  2G020CC48 ,  2G020CD04 ,  2G020CD22 ,  2G020CD39 ,  2G057AA01 ,  2G057AB02 ,  2G057AB06 ,  2G057AC03 ,  2G057BA05 ,  2G057BB01 ,  2G057BB10 ,  2G057BC05 ,  2G057DA03 ,  2G057DC07 ,  2G057GA01 ,  2G057JA20 ,  2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC20 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059FF08 ,  2G059GG01 ,  2G059GG09 ,  2G059HH01 ,  2G059HH08 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ24 ,  2G059KK01 ,  2G059LL03 ,  2G059MM05 ,  2G059MM14

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 赤外線レーザ成分検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-105513   出願人：財団法人応用光学研究所
• ガスの分光分析装置および分光分析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-060130   出願人：日本酸素株式会社
• アンモニア測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-266980   出願人：株式会社堀場製作所
• 特開平4-326041
  
• 特開昭63-009843
  
• ジェット分光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-197889   出願人：株式会社島津製作所