特許
J-GLOBAL ID：200903092336531680
ピッチ可変ウェハ移載ハンド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内藤 哲寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-207715
公開番号（公開出願番号）：特開平10-041371
出願日： 1996年07月17日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】ウェハ移載ハンドにおいて、複数枚のウェハの上下方向のピッチを簡単な構成で確実に変更する。【解決手段】昇降フィンガーF1 〜F4 の後部に設けられた各昇降操作部C1 〜C4 を、各クランク軸K1 〜K4 の連結軸15と連結し、これらのクランク軸K1 〜K4 を構成する各クランクピンS1 〜S4 の偏心量e1 〜e4 を、標準ピッチP1 と狭ピッチP2 との差dと各昇降フィンガーF1 〜F4 の段数とを掛け合わせた値の半分に設定し、各クランク軸K1 〜K4 の駆動軸5を原点から180°回動させることにより、基準フィンガーF0 に載置されたウェハWに対するそれ以外の各ウェハWの上下方向のピッチP1 を変更する。
請求項（抜粋）：
多段に配設された複数枚のフィンガーにウェハが載置され、これらのフィンガーのうち基準フィンガー以外の昇降フィンガーが、フレームに対して片持の状態で個別に昇降可能であり、該昇降フィンガーの各昇降操作部はそれぞれクランク軸を構成するクランクピンに連結されていて、標準ピッチのウェハキャリア側から狭ピッチのウェハボート側へウェハを移載する際に、前記した複数枚のフィンガーに載置されたウェハの上下方向のピッチを変更して、一度に複数枚のウェハを移載するピッチ可変ウェハ移載ハンドであって、前記した各クランクピンの偏心量を、変更されるピッチの差と昇降フィンガーの各段数とを掛け合わせた値の半分とし、各クランク軸の駆動軸を回動させて各昇降フィンガーを昇降させることによって、基準フィンガーのウェハに対するそれ以外の各ウェハの上下方向のピッチを変更可能にしたことを特徴とするピッチ可変ウェハ移載ハンド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 D
, B65G 49/07 E
