特許
J-GLOBAL ID：200903092343392122
被製版ロールの表面の濡れの拭き取り装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大沼 浩司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-128190
公開番号（公開出願番号）：特開平6-313969
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：
【要約】【目的】 アルコール洗浄走査と感光膜塗布走査との間において、ロール表面の濡れの拭き取り走査ができる被製版ロールの表面の濡れの拭き取り装置。【構成】 二次元テーブル20上に、原反ロール支持軸50と、不織布Mを被製版ロールRの下面に押し付ける不織布押し付けロール52と、一対の不織布繰り出しロール57,58と、繰り出しを行うための一方の不織布繰り出しロール58の回転支軸54と一体に設けられたレバー59を揺動させる直動アクチュエータ60を備えている。不織布繰り出しロール57は、固定支軸53に取り付けられたワンウエイクラッチベアリング55に被嵌し、不織布繰り出しロール58は、回転支軸54に取り付けられたワンウエイクラッチベアリング56に被嵌してあり、ワンウエイクラッチベアリング55,56の回転方向が合致しかつワンウエイクラッチベアリング55の回転方向が不織布Mを繰り出す方向に合致している。
請求項（抜粋）：
回転駆動される被製版ロールに対して接近・離隔自在かつロールに沿って往復動自在な二次元テーブル上に、帯状な不織布の原反ロールを支持してフリー回転可能である原反ロール支持軸と、軸部がばねで弾持されたフリー回転可能であるロールであって、前記原反ロールから繰り出される不織布が上面側に巻掛けられて該不織布を前記被製版ロールに押し付ける不織布押し付けロールと、互いに平行する固定支軸と回転支軸のそれぞれにフリー回転方向が同一となるようにワンウエイクラッチベアリングが嵌着されさらに各ワンウエイクラッチベアリングに被嵌された一対の不織布繰り出しロールであって、両ロール間に前記不織布押し付けロールに巻掛けられた不織布を挟み込むようになっていてかつ前記固定支軸に嵌着された方のワンウエイクラッチベアリングの回転方向が前記挟み込んでいる不織布を繰り出す方向に合致している一対の不織布繰り出しロールと、前記回転支軸と一体に設けられたレバーを揺動させる直動アクチュエータとが備えられてなり、被製版ロールの回転方向と不織布の繰り出し方向とが互いに逆向きとなっていて、回転する被製版ロールに不織布を接触して二次元テーブルを移動しつつ拭き取りを行うときに、前記直動アクチュエータによりレバーが間欠揺動するようになっていることを特徴とする被製版ロールの表面の濡れの拭き取り装置。
IPC (4件)：
G03F 7/16 502
, B08B 1/02
, G03F 7/30 501
, H01L 21/027
