特許
J-GLOBAL ID：200903092346448919
針状体先端形状計測装置、標準試料、および針状体先端形状計測方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-319391
公開番号（公開出願番号）：特開平6-147885
出願日： 1992年11月04日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：
【要約】【目的】 走査型探針顕微鏡を利用して、探針等の針状体の三次元的な先端形状をナノメートルの精度で計測できるようにする。【構成】 STMやAFM等の走査型探針顕微鏡に適用され、微動機構7に装着された針状体3を被計測物とし、ナイフエッジ1aの縁を有する凹部とこの凹部の底部における中心位置に設けられた基点部1bを備える標準試料1と、微動機構7を制御し針状体3で標準試料を繰り返し放射状に走査して針状体に凹部を含む上面部を測定させる針状体走査制御手段12と、前記測定によって得られたデータに基づき針状体の先端形状を合成する探針形状合成手段14と、合成された形状データと標準試料の既知の形状データを比較して針状体の先端形状を評価する評価手段15を備える。標準試料1は凹部の底部に等間隔の複数の溝1cを設け、針状体による測定走査を往復で行い、往路および復路の各走査で得られた測定データを用いかつ前記溝を利用して補正を行い、測定データに含まれる微動機構のヒステリシスによる影響を除く。
請求項（抜粋）：
走査型探針顕微鏡において、微動機構に装着された針状体と、ナイフエッジの縁を有する凹部とこの凹部の底部における中心位置に設けられた基点部を備える標準試料と、前記微動機構を制御し前記針状体で前記標準試料を繰り返し放射状に走査して前記針状体に前記凹部を測定させる針状体走査制御手段と、前記測定によって得られたデータに基づき前記針状体の先端形状を合成する探針形状合成手段と、合成された形状データと前記標準試料の既知の形状データを比較して前記針状体の先端形状を評価する評価手段とを有することを特徴とする針状体先端形状計測装置。
IPC (2件)：
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