光ヘッド用回折格子とその作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：韮澤弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-025372
公開番号（公開出願番号）：特開平7-235075
出願日： 1994年02月23日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：

【要約】【目的】微細な寸法制御が可能で、大量複製が可能で、かつ、耐候性が優れている光ヘッド用回折格子とその作製方法。【構成】記録媒体のトラックに記録された情報を読み取りかつそのトラックをトラッキングをするために、入射光をほぼ0次光及び±1次回折光に分割するための光ヘッド用回折格子4であって、透明基板3上に紫外線硬化型樹脂2からなる断面矩形状の繰り返しレリーフパターンが設けられている回折格子であり、透明基板3と紫外線硬化型樹脂2の間にシランカップリング層5を有する。その作製は、クロムマスクを露光して作製したレジストパターンを複製してなるスタンパ1を2P(PhotoPolymerization )法で複製して作製する。

請求項（抜粋）：

記録媒体のトラックに記録された情報を読み取りかつそのトラックをトラッキングをするために、入射光をほぼ0次光及び±1次回折光に分割するための光ヘッド用回折格子において、透明基板上に電離性放射線硬化型樹脂からなる断面矩形状の繰り返しレリーフパターンが設けられていることを特徴とする光ヘッド用回折格子。

IPC (2件)：

G11B 7/135 , G02B 5/18

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-199634
特開昭61-289544
磁気ディスク用基板
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-213685 出願人：ティーディーケイ株式会社

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