特許
J-GLOBAL ID：200903092355572100
ダイヤモンド・ポイントスクライブ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-193220
公開番号（公開出願番号）：特開平8-057845
出願日： 1994年08月17日
公開日（公表日）： 1996年03月05日
要約：
【要約】【目的】 ダイヤモンド・ポイントスクライブ装置におけるダイヤモンドカッタに加える荷重を自動的に設定する。【構成】 半導体レーザチップ製造用の短冊体の主面の一部にダイヤモンドカッタによって傷を付けるダイヤモンド・ポイントスクライブ装置において、前記ダイヤモンドカッタに加える荷重を自動的に設定する荷重設定機構を有する。前記荷重設定機構は、前記ダイヤモンドカッタの傷入れ回数をカウントする傷入れ数カウンタと、前記傷入れ数カウンタの検出情報に基づいてカウント数があらかじめ設定された複数の傷入れ回数値にそれぞれ至った際前記荷重を順次変動させる制御部とによって構成されている。ダイヤモンド・ポイントスクライブの荷重調整の自動化が図れるため、常に安定したポイントスクライブが可能となり、製品の歩留りが向上する。
請求項（抜粋）：
板状物の主面の少なくとも一部にダイヤモンドカッタによって傷を付けるダイヤモンド・ポイントスクライブ装置であって、前記ダイヤモンドカッタに加える荷重を自動的に設定する荷重設定機構を有することを特徴とするダイヤモンド・ポイントスクライブ装置。
IPC (2件)：
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