特許
J-GLOBAL ID：200903092356783520
ワイヤーソー装置及び切断方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-159565
公開番号（公開出願番号）：特開平9-066522
出願日： 1996年06月20日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ワーク又はワイヤーの直線移動速度を調整可能とし、安定したウェーハの形状を得る様にすることが出来、ウェーハ上のうねりを無くすことを可能としたワイヤーソー装置及び切断方法を提供する。【構成】 ワーク40又はワイヤーの移動速度のサイクルが停止→加速→一定速度→減速→停止であり、かつワイヤーの往復運動の送り速度のサイクルが停止→加速→一定速度→減速→停止であるようにしたワイヤーソー装置であって、ワイヤーとワークとを押し当てる方向へワーク又はワイヤーを直線移動させるワーク又はワイヤー移動手段と、ワイヤーをその線方向に往復運動せしめるワイヤー送り手段とを有し、ワーク又はワイヤーの移動速度のサイクル及びワイヤーの送り速度のサイクルの二つのサイクルにおいて少なくとも一定速度の時間が同期するように二つのサイクルの設定パターンを互いに同期する。
請求項（抜粋）：
互いに平行なワイヤーの列とワークとを該ワーク又はワイヤーを直線移動せしめて押し当て、該ワイヤーをその線方向に往復運動せしめ、該ワークと該ワイヤーとの間にスラリーを供給することによりワークを切断し、該ワーク又はワイヤーの移動速度のサイクルが停止→加速→一定速度→減速→停止であり、かつ該ワイヤーの往復運動の送り速度のサイクルが停止→加速→一定速度→減速→停止であるようにしたワイヤーソー装置であって、該ワイヤーと該ワークとを押し当てる方向へ該ワーク又はワイヤーを直線移動させるワーク又はワイヤー移動手段と、該ワイヤーをその線方向に往復運動せしめるワイヤー送り手段とを有し、該ワーク又はワイヤーの移動速度のサイクル及び該ワイヤーの送り速度のサイクルの二つのサイクルにおいて少なくとも一定速度の時間が同期するように上記二つのサイクルの設定パターンを互いに同期せしめうるようにしたことを特徴とするワイヤーソー装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B28D 5/04 C
, B24B 27/06 F
