特許
J-GLOBAL ID：200903092358655340

静電チャック

発明者：
鶴田 英芳

鶴田 英芳 について

, 
山口 和明

山口 和明 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (1件)： 杉村 興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-011081
公開番号（公開出願番号）：特開2001-274228
出願日： 2001年01月19日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：
【要約】【課題】ウエハーへ熱量を供給し、ウエハーの熱を突起およびバックサイドガスを通じて静電チャック側へと伝導させる静電チャックであって、ウエハーの温度制御を容易とし、ウエハーの温度の均一性を向上させる。【解決手段】静電チャック1は、ウエハー10を設置する設置面2aを有する絶縁層2と、絶縁層内に設置されている内部電極と、設置面から突出する、ウエハーと接触するべき接触面14を有する突起3Aを備える。ウエハーを吸着した状態で空間11内にバックサイドガスを流す。ウエハーへと熱量を供給し、ウエハーの熱を突起およびバックサイドガスを通じて静電チャック側へ伝導させる。突起の接触面14の面積の合計値が、内部電極の面積の1%以下である。突起の高さHが1μm以上、10μm以下である。
請求項（抜粋）：
チャック本体と、チャック本体の表面に形成され、かつウエハーを設置するための設置面を有する絶縁層と、この絶縁層内に設置されている内部電極と、前記設置面から突出する、前記ウエハーと接触するべき接触面を有する突起を備えており、前記ウエハーを吸着した状態で前記設置面と前記突起と前記ウエハーとによって形成された空間内にバックサイドガスを流し、前記ウエハーへと熱量を供給し、このウエハーの熱を前記突起および前記バックサイドガスを通じて静電チャック側へと伝導させる静電チャックであって、前記突起の前記接触面の面積の合計値が、前記内部電極の面積の1%以下であり、前記突起の高さが1μm以上、10μm以下であることを特徴とする、静電チャック。
引用特許：
審査官引用 (3件)

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