固体撮像装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：高橋敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287332
公開番号（公開出願番号）：特開2001-111024
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】従来のFT-CCDにおいては、光の回り込みによって迷光が画素用光電変換素子に入射しやすく、これに伴ってノイズが発生しやすい。【解決手段】画素用光電変換素子それぞれの上にのみ開口部を有する光遮蔽膜をFT-CCDに設ける。

請求項（抜粋）：

半導体基板の一表面に設定された感光部と、前記半導体基板の一表面における前記感光部の外側の領域に形成された出力転送路と、前記感光部を一定の方向DV に沿って横断して前記出力転送路に達する複数本の電荷転送チャネルと、前記感光部上に形成され、前記方向DV と平面視上交差する方向DH に沿って前記複数本の電荷転送チャネルの各々を横断する複数本の画素用透明転送電極であって、前記方向DV に沿って一定のピッチで配列され、前記複数本の電荷転送チャネルとの平面視上の交差部全ての中から前記方向DV およびDH のいずれについても1つおきに選択された交差部の各々において、前記電荷転送チャネルと共に画素用光電変換素子を構成する複数本の画素用透明転送電極と、前記画素用光電変換素子それぞれの上にのみ開口部を有する光遮蔽膜とを具備した固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/148 , H01L 27/14 , H04N 5/335

FI (5件)：

H04N 5/335 F , H04N 5/335 U , H04N 5/335 V , H01L 27/14 B , H01L 27/14 D

Fターム (30件)：

4M118AA05 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA12 , 4M118CA08 , 4M118CA19 , 4M118CA20 , 4M118DA18 , 4M118DA20 , 4M118DB06 , 4M118DB08 , 4M118FA02 , 4M118FA06 , 4M118FA13 , 4M118FA38 , 4M118GB03 , 4M118GC08 , 4M118GC09 , 4M118GC14 , 4M118GD04 , 5C024AA01 , 5C024CA05 , 5C024FA01 , 5C024FA12 , 5C024GA01 , 5C024GA15 , 5C024GA44 , 5C024GA51 , 5C024JA04 , 5C024JA25

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭58-111491
特開昭62-237761
特開昭51-077118

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