特許
J-GLOBAL ID：200903092362173180
面位置検出装置及びこれを有する露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-079805
公開番号（公開出願番号）：特開平5-280929
出願日： 1992年04月01日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 条件に応じて測定点を可変にすることで面位置の検出の精度を向上させた面位置検出装置及びこれを有する露光装置の提供。【構成】 ウエハ上の被検領域の複数位置に光ビームを斜入射し、この被検領域で反射された反射光束を位置検出素子上に投影する。被検領域の上下方向の位置変化を位置検出素子上の反射光束の位置変化として計測することができる。ここでパターン転写の行なわれる露光領域の大きさに合わせて複数の計測点の中から露光領域内の計測点のみを選択したり、露光領域の面精度に合わせて適切な計測点を選択して、選択した検出出力によって面位置情報を得る。
請求項（抜粋）：
被検面上の相異なる複数の測定位置に光ビームを斜め方向から照射する手段と、条件に応じて前記測定位置を可変にする手段と該測定位置で反射した光を受光して、各測定位置における検出信号を基に前記被検面の位置情報を得る手段と、を有することを特徴とする面位置検出装置。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, G01C 3/06
, G03F 7/207
, H01L 21/027
