特許
J-GLOBAL ID:200903092363686858
カラーフィルタの欠陥検査装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
深見 久郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-232333
公開番号(公開出願番号):特開平9-033448
出願日: 1995年09月11日
公開日(公表日): 1997年02月07日
要約:
【要約】【課題】 欠陥でないのに欠陥として判別されるおそれをなくし、信頼性のあるカラーフィルタの欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 CCDラインセンサ4はセルフォックレンズ3を介してカラーフィルタ1の透過光を検出し、検出部5は比較信号Cf(n)またはCa(n)の値が予め設定したしきい値TH1よりも大きくかつ輝度変化量δ(n)が予め設定したしきい値Δに対して、δ(n)≧Δであれば、そのカラーフィルタを比較検査対象から除外することによって、疑似欠陥の発生を防止する。
請求項(抜粋):
それぞれが異なる色で着色されかつ所定のピッチで配置された複数の着色領域を含む液晶表示装置のカラーフィルタに生じた欠陥を検出するカラーフィルタの欠陥検査装置であって、前記カラーフィルタの一方側に光を照射する光源と、前記カラーフィルタの他方側で前記カラーフィルタを透過した透過光を受光する受光手段と、前記受光手段の受光出力に基づいて、前記カラーフィルタのパターンピッチに対応した画素の輝度の比較を行ない、検査対象の比較対象となる画素の前後の輝度差が予め設定した輝度差より大きいときは、そのカラーフィルタが欠陥でないと判別する検査手段を備えた、カラーフィルタの欠陥検査装置。
IPC (5件):
G01N 21/88
, G01M 11/00
, G02B 5/20 101
, G06T 7/00
, G06T 1/00
FI (5件):
G01N 21/88 J
, G01M 11/00 T
, G02B 5/20 101
, G06F 15/62 400
, G06F 15/64 310
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