特許
J-GLOBAL ID：200903092364217487
吹き付け加工法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-120078
公開番号（公開出願番号）：特開平11-300615
出願日： 1998年04月14日
公開日（公表日）： 1999年11月02日
要約：
【要約】【課題】 吹き返しによる素子外形面の異常摩耗(痩せ)を防止し、加工状態を安定させ、均質な素子形状を得ることのできる吹き付け加工法を提供する。【解決手段】 本発明は、被加工物の被加工表面に所定の素子形状の主マスクパターンを設け、マスクされていない被加工物の部分を、吹き付け媒体の吹き付けにより除去し、所定形状の素子を形成する吹き付け加工法において、前記吹き付け媒体の吹き返し防止用の副マスクパターンを、前記主マスクパターンの外周に間隔を隔てて設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被加工物の被加工表面に所定の素子形状の主マスクパターンを設け、マスクされていない被加工物の部分を、吹き付け媒体の吹き付けにより除去し、所定形状の素子を形成する吹き付け加工法において、前記吹き付け媒体の吹き返し防止用の副マスクパターンを、前記主マスクパターンの外周に間隔を隔てて設けたことを特徴とする吹き付け加工法。
IPC (4件)：
B24C 1/04
, H01L 21/304 601
, H01L 41/09
, H01L 41/22
B24C 1/04 C
, H01L 21/304 601 S
, H01L 41/08 C
, H01L 41/22 Z
