特許
J-GLOBAL ID：200903092372963570
ガスバリヤー性透明導電性積層体とその製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-332001
公開番号（公開出願番号）：特開平6-099536
出願日： 1992年12月11日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：
【要約】【構成】 ポリエーテルスルフォンやポリエーテルエーテルケトン等の高分子フィルム基材に対して、少なくとも有機珪素化合物ガスと酸素を原料としたプラズマCVD法により作成した酸化珪素層と透明導電層とが適宜積層されてなるガスバリヤー性透明導電性積層体。【効果】 水蒸気や酸素を避けなければならない液晶表示素子への応用に適した、透明性ならびに可撓性、高ガスバリヤー性を持つ透明導電性フィルムが提供される。
請求項（抜粋）：
透明高分子フィルム基材に対して、酸化珪素の層と透明導電層とが積層されるものであって、該酸化珪素層が少なくとも有機珪素化合物ガスと酸素とを用いた減圧プラズマ化学気相蒸着法で形成せしめたものである高ガスバリヤー性透明導電性積層体。
IPC (5件)：
B32B 9/00
, B32B 7/02
, B32B 27/08
, C23C 14/06
, H01B 13/00 503
