特許
J-GLOBAL ID：200903092373062801
静電チャック及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-177607
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007189
出願日： 1999年06月24日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【解決手段】 静電吸着用電極をセラミックスからなる絶縁性誘電体層で被覆してなるチャック機能部と、該チャック機能部を支持するプレート部とを互いに接合してなる静電チャックにおいて、上記プレート部のチャック機能部との接合面に凹状溝が形成され、この凹状溝の内部に高周波用電極が埋設されていることを特徴とする静電チャック。【効果】 本発明によれば、高周波電圧の印加を遮断することなくプラズマを発生させることができるため、静電チャック自体が高周波用平板電極の機能をも兼ね備えることができると共に、チャック機能部とプレート部の材質を共にセラミックスにする等、両者の熱膨張率差を小さく設計することが可能となり、幅広い温度領域において内部応力を最小限にすることができ、チャック機能部とプレート部との間の割れ・反り、クラックの発生を大幅に防止し得る静電チャック及びその製造方法を提供することができる。
請求項（抜粋）：
静電吸着用電極をセラミックスからなる絶縁性誘電体層で被覆してなるチャック機能部と、該チャック機能部を支持するプレート部とを互いに接合してなる静電チャックにおいて、上記プレート部のチャック機能部との接合面に凹状溝が形成され、この凹状溝の内部に高周波用電極が埋設されていることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, H02N 13/00 D
5F031CA02
, 5F031HA02
, 5F031HA03
, 5F031HA08
, 5F031HA16
, 5F031HA18
, 5F031HA37
, 5F031MA28
, 5F031MA32
