走査型顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：上田邦生 , 藤田考晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-194581
公開番号（公開出願番号）：特開2008-203813
出願日： 2007年07月26日
公開日（公表日）： 2008年09月04日
要約：

【課題】光変調素子を共焦点ピンホールとして利用することにより試料の鮮明な共焦点画像を得ることができ、かつ、そのような鮮明な共焦点画像をリアルタイムに2次元的な画像を構築する。【解決手段】光源1と、2次元配列された複数の微小光変調要素29を備え、オン状態に作動される該微小光変調要素29を一方向に切り替える微小光変調要素アレイ7と、微小光変調要素アレイ7を通過した照明光を集光して試料19に照射する一方、試料19からの光を集光する対物レンズ11と、2次元配列された複数の画素を有し、試料19からの光を検出する光検出器17と、微小光変調要素アレイ7と対物レンズ11との間に配置され、照明光を微小光変調要素29の切替方向と直交する方向に走査する第1のスキャン手段9と、光検出器17と微小光変調要素アレイ7との間に配置され、対物レンズ11により集光され、第1のスキャン手段と同じ方向に走査する第2のスキャン手段53とを備える走査型顕微鏡10Dを提供する。【選択図】図14

請求項（抜粋）：

光源と、 2次元配列された複数の微小光変調要素を備え、オン状態に作動される該微小光変調要素を一方向に切り替える微小光変調要素アレイと、前記光源から発せられ、前記微小光変調要素アレイを通過した照明光を集光して試料に照射する一方、試料からの光を集光する対物レンズと、 2次元配列された複数の画素を有し、前記試料からの光を検出する光検出器と、前記微小光変調要素アレイと前記対物レンズとの間に配置され、前記光源からの照明光を前記微小光変調要素の切替方向と直交する方向に走査する第1のスキャン手段と、前記光検出器と前記微小光変調要素アレイとの間に配置され、前記対物レンズにより集光され、前記第1のスキャン手段および前記微小光変調要素アレイを介して戻る試料からの光を前記第1のスキャン手段と同じ方向に走査する第2のスキャン手段とを備える走査型顕微鏡。

IPC (3件)：

G02B 21/00 , G02B 21/12 , G02B 26/08

FI (3件)：

G02B21/00 , G02B21/12 , G02B26/08 E

Fターム (27件)：

2H052AA08 , 2H052AC07 , 2H052AC14 , 2H052AC15 , 2H052AC27 , 2H052AC34 , 2H052AF06 , 2H052AF14 , 2H052AF21 , 2H052AF25 , 2H141MA12 , 2H141MB24 , 2H141MB63 , 2H141MD12 , 2H141MD20 , 2H141MD32 , 2H141MD40 , 2H141ME04 , 2H141ME09 , 2H141ME23 , 2H141ME24 , 2H141ME25 , 2H141MF01 , 2H141MF12 , 2H141MG06 , 2H141MG09 , 2H141MZ14

引用特許：

出願人引用 (1件)

共焦点顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-416244 出願人：オリンパスアメリカインク.

審査官引用 (2件)

共焦点顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-416244 出願人：オリンパスアメリカインク.
レーザ走査顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-132457 出願人：小池精機株式会社

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