特許

J-GLOBAL ID：200903092381861667

板状体の処理装置

発明者： 立山 清久
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン九州株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-318440
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129417
出願日： 1991年11月05日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：

【要約】【目的】 受け渡しステーションのキャリア内のウエハを高速に処理部に搬送すること。【構成】 キャリア載置台3と処理ステーションAのメインアーム7との間に搬送機構4を設置し、搬送機構4を、昇降自在な搬送基台41とこの上に進退自在に設けられたウエハ保持用のピンセット5とを備えた構成とする。ピンセット5の前端部に段部51を形成する一方、ピンセット5の移動路の両側にて位置決め部材61を搬送基台41に固定し、ピンセットの後退時にウエハWの周縁に当接してウエハWをセンタリングするように、段部51と位置決め部材61の当接部62とを位置決定する。また載置台3と搬送機構4と共通の基枠にに設けて、載置台の位置合わせを容易に行うようにする。

請求項（抜粋）：

処理前の複数の板状体を上下に重ねて収納した容器を載置するための容器載置台と、前記容器内の板状体を順次保持して取り出すように進退自在、かつ前記容器載置台に対して相対的に昇降自在な板状体保持部材を備えた受け渡し用搬送機構と、前記板状体保持部材の後退時に、当該保持部材に保持されている板状体の周縁に当接してその板状体を位置決めする位置決め機構と、この位置決め機構により位置決めされた板状体を前記搬送機構から受け取って処理部に搬送する処理部用搬送機構と、を有してなることを特徴とする板状体の処理装置。