特許
J-GLOBAL ID：200903092392126799
ペリクル装着装置、及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-004880
公開番号（公開出願番号）：特開平5-188582
出願日： 1992年01月14日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：
【要約】【目的】 レチクルに歪みが生じないようにペリクルを装着する【構成】 押圧部5には局所領域を個別に押圧可能なアクチュエータ6が設けられている。ペリクルが張られたペリクルフレーム10が仮装着されているレチクル9を固定押圧部13と押圧部5とで押圧する。この際、軽荷重で押圧を行い、このときのレチクル9の歪みをCCDカメラを介して観測し、画像処理部15で歪みの大きさと状態を検出する。制御部16は画像処理部15からの情報に基づいてアクチュエータ6を駆動し、歪みを許容値以下とする。その後、好適な圧力で押圧を行い、歪みのない装着を可能とする。
請求項（抜粋）：
マスクに塵埃等が付着するのを防止するためにペリクルが張られた枠部材を有するマスク保護部材を前記マスクに押圧する押圧部を有し、該マスク保護部材を前記マスクに装着する装置において、前記マスク保護部材押圧時に前記マスクの歪みを計測する計測手段と;前記押圧部に設けられ、前記枠部材の局所領域を個別に押圧可能な複数の局所押圧部材と;前記計測手段からの計測結果に基づいて前記複数の局所押圧部材の押圧力を調整する調整手段とを有することを特徴とするペリクル装着装置。
IPC (2件)：
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